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1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：超高真空外延溅射腔体
（2）技术指标：
快速进样室： |
★1.1 超高真空腔体，材质为S304，腔体在充分烘烤后，本底真空优于5x10-8 mbar；包含快速进样门，便于日常取放样品； ★1.2 真空抽气系统，不小于300L/s抽速的分子泵（Edwards，Pfeiffer，Agilent,Laybold等品牌），不小于10 m3/h抽速的无油干泵（Edwards，Pfeiffer，Agilent等品牌），包含不锈钢抽气管路和安全控制阀； ★1.3 储样台台，可同时存放5个2英寸样品托，含升降装置及角度调节装置。 |
磁控溅射腔室： |
★2.1 超高真空腔体，材质为S304，腔体在充分烘烤后，本底真空优于5x10-9 mbar； ★2.2 真空抽气系统，不小于600L/s抽速的磁悬浮分子泵（Edwards，Pfeiffer，Agilent等品牌），不小于15 m3/h抽速的无油干泵（Edwards，Pfeiffer，Agilent等品牌） ★2.3 超高真空衬底加热台，2英寸衬底，辐射加热，最高工作温度为1100K,含升降装置 2.4 包含气动挡板模块，实现生长流程的自动控制，不同靶成膜时，可自动切换 2.5 包含高纯VCR气路系统，4路,通过MFC精确控制 2.6 残余气体分析仪（RGA），测量范围：1-100amu； 2.7 包含膜厚测量仪,显示精度不差于0.01A； 2.8 包含6个2inch进口标准强磁靶，2个1kw直流电源，1个300W射频电源，并提供两个自组装切换盒，可实现电源对多路磁靶的切换控制。 |
分子束外延腔室： |
★3.1 超高真空腔体，S304，腔体在充分烘烤后，本底真空优于2x10-10 mbar； ★3.2 真空抽气系统，不小于300L/s抽速的磁悬浮分子泵（Edwards，Pfeiffer，Agilent等品牌），不小于10 m3/h抽速的无油干泵（Edwards，Pfeiffer，Agilent等品牌），不小于300L/s抽速的离子泵（Gamma，Agilent等品牌），包含不锈钢抽气管路和安全控制阀； ★3.3 超高真空4轴样品加热台，x+/-12.5mm, y+/-12.5mm,z 0~50mm,面内转动+/-180°，兼容2inch和标准flag-type样品托，加热方式为辐射加热，最高工作温度达1100摄氏度，PID控温，控温精度达：±0.1℃； 3.4 包含膜厚测量仪； ★3.5 包含15KeV高能电子衍射仪（RHEED），配备荧光屏及图像采集和分析模块； |
（3）数量：1台
（4）交货期：2021年4月30日
（5）交货地点：北京航空航天大学学院路校区
（6）是否接受进口产品：允许使用进口零配件
2、采购预算（最高限价）：99万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、法人证书扫描件、销售资质证明扫描件、销售人员身份证明、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2020年 7月21日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：待定
方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
7月24日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
北京市海淀区学院路37号，永利官网新主楼F1011
王航天收，手机号：17660446910
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
王航天，邮箱：wanghangtian@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
