永利官网304am永利集团官网超高真空溅射外延腔体采购项目由304am永利集团官网成立竞价小组通过竞价方式采购，现将竞价过程及结果公示如下：
1. 采购名称：超高真空溅射外延腔体
2. 使用人：聂天晓
3. 采购项目负责人：聂天晓
4. 竞价小组成员组成情况：
序号 |
姓名 |
单位 |
职称 |
1 |
聂天晓 |
永利官网304am永利集团官网 |
研究员 |
2 |
朱大鹏 |
北航304am永利集团官网 |
副研究员 |
3 |
温良恭 |
北航304am永利集团官网 |
副研究员 |
5. 采购项目竞价概况： 计划购买超高真空溅射外延腔体设备。竞价过程如下：首先在网上进行3天的采购需求公示，经过了三家供应商单位的报名入围，经过竞价小组成员线上会议评审，根据“货比三家，优质低价”的原则决定成交的供应商.
6. 竞价结果详情：
序号 |
供应商（全称） |
供应商联系方式 |
报价（万元） |
数量 |
主要产品情况 |
品牌 |
型号 |
性能指标 |
1 |
上海德竹芯源科技有限公司 |
17309325773 |
98.85 |
1 |
芯源科技 |
标准 |
"1.超高真空腔体，材质为S304，腔体在充分烘烤后，本底真空优于5x10-9 mbar 2.真空抽气系统，不小于300L/s抽速的分子泵，不小于10 m3/h抽速的无油干泵，包含不锈钢抽气管路和安全控制阀 3.标准强磁靶，2个1kw直流电源，1个300W射频电源，并提供两个自组装切换盒，可实现电源对多路磁靶的切换控制 4.蒸发源；工作温度可达1800℃，PID控温，温度稳定性：±0.1℃ " |
2 |
苏州衡微仪器科技有限公司 |
18625233670 |
98.75 |
1 |
衡微仪器 |
标准 |
"1.超高真空腔体，材质为S304，腔体在充分烘烤后，本底真空优于5x10-9 mbar 2.真空抽气系统，不小于300L/s抽速的分子泵，不小于10 m3/h抽速的无油干泵，包含不锈钢抽气管路和安全控制阀 3.标准强磁靶，2个1kw直流电源，1个300W射频电源，并提供两个自组装切换盒，可实现电源对多路磁靶的切换控制 4.蒸发源；工作温度可达1800℃，PID控温，温度稳定性：±0.1℃ " |
3 |
埃频（上海）仪器科技有限公司 |
021-65640002 |
98.3 |
1 |
埃频仪器 |
标准 |
"1.超高真空腔体，材质为S304，腔体在充分烘烤后，本底真空优于5x10-9 mbar 2.真空抽气系统，不小于300L/s抽速的分子泵，不小于10 m3/h抽速的无油干泵，包含不锈钢抽气管路和安全控制阀 3.标准强磁靶，2个1kw直流电源，1个300W射频电源，并提供两个自组装切换盒，可实现电源对多路磁靶的切换控制 4.蒸发源；工作温度可达1800℃，PID控温，温度稳定性：±0.1℃ " |
确定成交结果单位：埃频（上海）仪器科技有限公司
确定成交报价：98.3 万元
公示期从2020年08月04日起至2020年08月07日止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至永利官网304am永利集团官网。
2020年08月04日
